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            上海添時科學(xué)儀器有限公司

            PRODUCT DISPLAY

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            全自動標(biāo)準(zhǔn)2-6寸勻膠顯影機

            參  考  價:面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

            產(chǎn)品型號:

            品       牌:其他品牌

            廠商性質(zhì):代理商

            所  在  地:上海市

            更新時間:2025-03-13 08:47:18瀏覽次數(shù):4063次

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            應(yīng)用領(lǐng)域 化工 旋轉(zhuǎn)速度范圍 20-5000rpm
            加速度范圍 20-20000rpm/s 轉(zhuǎn)速精度 ±1rpm
            熱盤溫度范圍 50℃-200℃ 熱盤溫度均勻性 ±1%
            冷盤溫度范圍 20°℃-25°℃ 冷盤溫度均勻性 ±0.2℃
            光刻膠粘度 0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺) 膠泵類型 氣動或電動膠泵
            光刻膠或顯影液管路 ≤3路 設(shè)備尺寸 1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)
            全自動標(biāo)準(zhǔn)2-6寸勻膠顯影機
            適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
            最大設(shè)備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
            6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
            整機適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
            根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風(fēng)棒等模塊
            可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

            大型勻膠/顯影機

               顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時,獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。

            產(chǎn)品介紹

            適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
            最大設(shè)備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
            6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
            整機適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
            根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風(fēng)棒等模塊
            可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

            產(chǎn)品參數(shù)

            旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
            加速度范圍:20-20000rpm/s
            轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
            熱盤溫度范圍:50℃-200℃
            熱盤溫度均勻性:±1%
            冷盤溫度范圍:20°℃-25°℃
            冷盤溫度均勻性:±0.2℃
            光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
            膠泵類型:氣動或電動膠泵
            光刻膠或顯影液管路:≤3路
            流量監(jiān)控:浮子式流量計(可選配超聲流量計)
            設(shè)備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

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